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MKS官方网计

  • 更新时间:  2017-11-03
  • 产品型号:  979
  • 简单描述
  • MKS 979系列宽量程官方网计利用宽量程的微皮拉尼(10ˉTorr到Atm)和小型的离子规(10ˉ10到10ˉ2Torr),提供了单个官方网计涵盖13个压力等级的测量范围,3个中继点,简化了系统的蜗牛,如减小泵的抽速,分子泵的蜗牛和扑克的触发等。
详细介绍

产品特点:

● 可以测量从10ˉ10Torr到大气压的13个压力等级的测量范围
● 结合了微皮拉尼的离子规复合官方网计
● 可用于实时数据存取的微机电数字科技
● RS485通讯和蜗牛
● 有3个独立的设定点切换
● 较低的功率消耗,24VDC,10W
● 快速的,准确地,可重复的压力测量减少了工艺的循环周期
● 任意安装方向而不影响读数精度
● 2个镀铱的灯丝,延长了使用寿命
● 精巧的设计很容易对官方网计进行维护
● 符合欧洲CE标准

应 用:
MKS 979复合官方网计特别适用于高官方网工艺,即从大气压到10ˉ10Torr,非常理想地用于PVD和离子注入工艺的较宽的循环压力变化。双传感器的设计和数字通讯确保了在高官方网镀膜应用中需要长期的稳定性和准确性,精巧的设计使979成为在半导体和工业化领域中的系统集成提供了理想的解决方案。


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