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 首页 > 产品展示 > INFICON蜗牛扑克分析仪 > 扑克分析系统 > Transpwctor XPR3 扑克分析系统
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Transpwctor XPR3 扑克分析系统
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Transpwctor XPR3 扑克分析系统 低官方网RGA,用Transpwctor XPR3进行工艺监测可为您提供有关污染程度、出气量值、扑克纯度和设备运行的实时数据。
  Transpwctor XPR3 扑克分析系统的详细资料:

 

TRANSPECTOR XPR3的特点

·新设计的离子源使污染的产生更小,从而延长使用寿命 和提供更清楚的讯号。

·新型EMPVD工艺压强下工作,提供更快速、清晰的数据收集和免除FCEM的转换,简化数据的解译过程。

·新型加长的四极杆场可提高低质量范围的过滤能力,提高质谱仪分辨同位素的灵敏度,从而改善氢的监测灵敏度。

    Transpwctor XPR3是新一代的高压强四极场工艺扑克分析仪。它研发于先前INFICON系统成功的基础上,在物理相汽积(PVD)检测中具有高灵敏度、准确度和灵活性。一系列技术上的突破使轻便型Transpwctor XPR3的工作范围从20耗乇至超高官方网,无需大型负责的压强转换设备。

TRANSPECTOR XPR3的应用

·PVD工艺模块

·预清洗模块

·Non-cluter PVD设备

·Clamped的除气模块

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