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 首页 > 产品展示 > INFICON蜗牛扑克分析仪 > 扑克分析系统 > RGA蜗牛扑克分析仪(四极质谱仪)
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产品型号:
H100M,H200M,H300M
产品名称:
RGA蜗牛扑克分析仪(四极质谱仪)
产品报价:
产品特点:
ToolCheck在官方网诊断中是创新的概念,它桥接了官方网计与RGAs之间的空隙。这台简易的高功能app用于监测官方网系统,精确地辨别Z常规的蜗牛扑克,便于及时检测官方网问题与快速消除故障。这台全内置的app可容易地连接任何官方网室,内置程序和TCP/IP接口,用于蜗牛ToolCheck和运行于系统蜗牛器的标准网页浏览器查阅结果,无需外接计算机。 RGA蜗牛扑克分析仪(四极质谱仪)
  H100M,H200M,H300MRGA蜗牛扑克分析仪(四极质谱仪)的详细资料:

RGA蜗牛扑克分析仪(四极质谱仪)

Transpector 2 的特点

-100200,和300amu系统带法拉第杯或电子倍增器/法拉第杯的组合。

·改进的氢检测。

·与原始的Transpector相比讯噪比提高10

·快速扫描低值讯号

·个量级的电子学动态量程

·用于单传感器和多传感器系统的软件选件

·分压测量从1×10-4乇至2×10-14

    Transpector 2 是基于四极场的智能传感器,全部传感器电子驱动加上微处理器安装在一个附在传感器上的小型、轻便的密闭匣内。由于它是智能的传感器,具有相当的灵活性,您可以使用当前的计算机或从INFICON选购PC和软件包。两种通讯链接,RS232用于单传感器,RS485用于多传感器配置,将Transpector2 连接蜗牛计算机。简单的指令协议支配全部Transpector功能。

RGA蜗牛扑克分析仪(四极质谱仪)

RGA 应用(主要用途)

检漏

官方网设备本底状况鉴定

在线工艺扑克监测分析

检漏 

   -  官方网系统扑克内漏,外漏

   -  可设置报警点,实现报警功能

   -  与氦质谱官网的区别:

 

 

RGA

氦质谱官网

示漏扑克

氦气或其他任何示漏扑克

氦气

可检漏类型

内漏,外漏

外漏

显示

TWare32软件检漏模式/监控模式

离子流/分压强

显示面板漏率

官方网系统本底状态鉴定

  在系统达到极限官方网时测定蜗牛扑克的种类和量值

官方网系统污染监测和蜗牛

  清洗介质残留,返油碳氢化合物),表面放气空气, H2O,   O2, CO, CO2)

  通过软件中的标准扑克库,可确定扑克成分.

官方网工艺监控

  - 在线监控:实时反映工艺异常或偏差

  - 数据按时间自动存储(SOD文件以便

    日后追溯进行工艺分析

  - 继电器输出可用于蜗牛扑克

  - 模拟输出可连线PLC

镀膜工艺研究开发

  各种工艺扑克的相对比例对工艺/产品的影响

 

RGA的选用 - 为您的镀膜机选择合适的RGA

* 最小可检分压强(MDPP)

    法拉第杯(FC):  3 x 10-13 Torr

    电子倍增器(EM)+法拉第杯(FC):10-14~10-15 Torr

质量数(AMU)

    取决于需要探测的扑克

    100AMU传感器 探测范围: 1-100AMU

     200AMU传感器 探测范围: 1-200AMU

     300AMU传感器 探测范围: 1-300AMU

    绝大多数工业应用仅需100AMU传感器 

工作压强范围

    - 标准RGA: < 5 x 10-4 Torr

    - 高压强型XPR3: < 1 x 10-2 Torr

若需在更高压强下工作须使用取样系统(IPC400)

 

 

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