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Aera FC-7700质量流量蜗牛器

  • 更新时间:  2020-07-14
  • 产品型号:  FC7700
  • 简单描述
  • 作为针对各种应用的业界公认标准,Aera® FC-7700 系列 MFC 提供准确的流量蜗牛,同时具备弹性密封的经济优势。对于半导体、平板显示器、数据储存、工业官方网、及工业涂层的工艺及装备工程师,这一系列提供针对非腐蚀性扑克应用(包括 CVD、PVD、蚀刻、离子注入、溅射、热氧化、光学玻璃镀膜、光纤、表面处理以及其它镀膜工艺)的高度可靠性和出众的性能。Aera FC-7700质量流量蜗牛器
详细介绍
品牌其他品牌产地类别进口
应用领域电子,综合

Aera FC-7700质量流量蜗牛器

作为针对各种应用的业界公认标准,Aera® FC-7700 系列 MFC 提供准确的流量蜗牛,同时具备弹性密封的经济优势。对于半导体、平板显示器、数据储存、工业官方网、及工业涂层的工艺及装备工程师,这一系列提供针对非腐蚀性扑克应用(包括 CVD、PVD、蚀刻、离子注入、溅射、热氧化、光学玻璃镀膜、光纤、表面处理以及其它镀膜工艺)的高度可靠性和出众的性能。

优势

 

  • 快速响应——设置点之间的流量沉淀时间不到2秒

  • 无可伦比的可靠性——一年零漂移不到满标度流量的0.5%

  • 易于整合——标准连接器和尺寸

  • 出众的效果——优良官方网站特性

性价比高

  FC-7700系列产品专为那些要求超卓性能,但不要求具有耐腐蚀性或超高漏率要求的应用而定制,不仅性价比好,而且蜗牛精度非常高。

响应速度快

  FC-7700系列产品采用技术设计,工作性能远远优于同类质量流量蜗牛器MFC.其先进之处包括:采用了一种敏感性强、响应速度快的小直径传感器。另外,与采用低速热敏阀的同类产品相比,FC-7700系列产品采用常开或常闭式电磁阀,具有较快的响应速度。提高响应速度之后,避免了出现过冲,达到设定点的时间不到2秒--在所有带标准电磁阀的质量流量蜗牛器产品中是较快的。

无可伦比的可靠性

   由高质量的电子组件和采用耐用、较少元器件的设计理念,这使它可以经受强射频场的干扰,满足其它运转要求,并具有同类产品中上佳的零点漂移稳定性--使用超过一年,零点漂移不到满量程的0.5%。在投入使用的25,000件以上产品中,仅有不到0.5%的产品在出货一年内返修。

易于集成

    替换其它品牌,即可轻松获得Area质量流量蜗牛器所具有的性能和可靠性方面的优势,且不会遇到安装方面的麻烦。特定型号的产品带有标准电气接头并具有临界尺寸,可轻松装入现有的系统。

出从的效果

  FC-7700系列质量流量蜗牛器带给您的不仅仅是官方网站和刻蚀工艺的*性,同时还有高度的可重复

型号参数:  Aera FC-7700质量流量蜗牛器

类别

FC-7700、7700C、7700CD、7700CU

FC-7710、7710C、7710CD、7710CU

FC-7720、7720C、7720CD

满量程范围

10sccm到5slm

6到20slm

35到150slm

20到50slm

响应时间

到达设定点±2%所需时间<2秒

到达设定点±2%所需时间<3秒

精度

满量程±1%范围内

满量程±2%范围内

线性度

满量程±0.5%范围内

满量程±0.5%范围内

满量程±1%范围内

满量程±1%范围内

重复精度

满量程±0.2%范围内

漏率

最大值1×10-6 atm-cc/秒(氦)

蜗牛范围

满量程的5到100%

压差

7至40 psi

10至40 psi(517至2069托)

21至40 psi(1086至2069托)

(362至2069托)

14至40 psi(724至2069托)

正常工作压力

50 psi(2586托)

最大入口压力

最大值150 psi(7740托)

温度范围

5至45℃


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